1959年前蘇聯學者里沃夫(В.B.ПьBOB)設計出石墨爐原子化器,1960年提出了電熱原子化法(即非火焰原子吸收法),使原子吸收分析的靈敏度有了極大提高。
1965年威尼斯(J.B.Willis)將氧化亞氮-乙炔火焰用于原子吸收法中,使可測定元素數目增至70個。
1967年馬斯曼(H.Massmann)對里沃夫石墨爐進行改進,設計出電熱石墨爐原子化器(即高溫石墨爐)。
20世紀60年代后期發(fā)展了“間接原子吸收分光光度法”,使過去難以用直接法測定的元素和有機化合物的測定有了可能。
1971年美國瓦里安(Varian)公司生產出世界上第一臺縱向加熱石墨爐,并首先發(fā)展Zeemen背景校正技術。
1981年原子吸收分析儀實現操作自動化。
1984年第一臺連續(xù)氫化物發(fā)生器問世。
1990年推出世界上最先進的Mark V1焰燃燒頭。
1995年在線火焰自動進樣器(SIPS8)研制成功并投入使用。
1998年第一臺快速分析火焰原子吸收220FS誕生。
2002年世界上第一套火焰和石墨爐同時分析的原子吸收光譜儀生產并投放市場。
現在,原子吸收分光光度計采用最新的電子技術,使儀器顯示數字化、進樣自動化,計算機數據處理系統(tǒng)使整個分析實現自動化。